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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0207681 (2005-08-19) |
등록번호 | US-7372107 (2008-05-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 52 |
A semiconductor-on-insulator structure includes a substrate and a buried insulator stack overlying the substrate. The buried insulator stack includes a first dielectric layer and a recess-resistant layer overlying the first dielectric layer. A second dielectric layer can overlie the recess-resistant
What is claimed is: 1. A semiconductor-on-insulator structure comprising: a substrate; a buried insulator stack overlying the substrate, the buried insulator stack including a recess-resistant layer and a first dielectric layer, the recess-resistant layer overlying the first dielectric layer and wh
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