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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0115774 (2005-04-27) |
등록번호 | US-7413411 (2008-08-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 45 |
A vacuum system comprises, as an integral assembly, a vacuum pump with drive motor, a purge valve, a roughing valve and an electronic control module. A cryogenic vacuum pump and a turbomolecular vacuum pump are disclosed. The control module has a programmed processor for controlling the motor and va
What is claimed is: 1. A vacuum system comprising: a turbomolecular pump having a first electronic control module which controls the turbomolecular pump, the first electronic control module being integral with the turbomolecular pump and having an interface allowing individual and local control of
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