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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0154129 (2005-06-15) |
등록번호 | US-7416370 (2008-08-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 106 |
A method for transporting a substrate is provided. In this method, a non-Newtonian fluid is provided and the substrate is suspended in the non-Newtonian fluid. The non-Newtonian fluid is capable of supporting the substrate. Thereafter, a supply force is applied on the non-Newtonian fluid to cause th
What is claimed is: 1. A system for transporting a substrate, comprising: a chamber having an input end defining a first opening through which the substrate is introduced, and an output end opposing the input end, the first opening having a panel that opens and closes access to the chamber through
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