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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0510419 (2006-08-26) |
등록번호 | US-7467024 (2008-12-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 31 인용 특허 : 66 |
The present invention provides methods and apparatus capable of routine placement and replacement of fabricator tools in a designated tool location. The tool location can be selected from multiple tool locations arranged in a matrix with horizontal and vertical designations. In another aspect, the
What is claimed is: 1. An apparatus for transporting a fabricator tool to or from a cleanspace environment, the apparatus comprising: a work area module defined in three dimensions by walls; a connecting surface connectable to a tool location in a multilevel fabricator, said connecting surface comp
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