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Method and device for optically examining an object 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-011/24
출원번호 US-0489391 (2002-09-10)
등록번호 US-7495778 (2009-02-24)
우선권정보 DE-101 44 709(2001-09-11); DE-102 41 290(2002-09-04)
국제출원번호 PCT/EP02/010122 (2002-09-10)
§371/§102 date 20040927 (20040927)
국제공개번호 WO03/023482 (2003-03-20)
발명자 / 주소
  • Sieckmann,Frank
출원인 / 주소
  • Leica Microsystems CMS GmbH
대리인 / 주소
    Darby & Darby
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 12

초록

A device for optically examining an object includes a lens, an object stage for receiving the object, and an image-recording apparatus for recording a series of individual images of the object in a number of planes. A piezo-controlled apparatus is provided for adjusting the distance between the lens

대표청구항

What is claimed is: 1. A device for optically examining an object, comprising: a lens; an object stage configured to receive the object; an image-recording apparatus configured to record a plurality of images of the object in a plurality of planes; a piezo-controlled apparatus configured to adjust

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Alastair David Trigg SG, Apparatus and method for image enhancement.
  2. Mimura Itaru (Sayama JPX) Kurihara Tsuneya (Preverenges CHX), Apparatus for obtaining three-dimensional volume data of an object.
  3. Firester Arthur H. (Skillman NJ) Heller Macy E. (Trenton NJ), Apparatus for the determination of focused spot size and structure.
  4. Price Jeffrey H. ; Gough David A., Autofocus system for scanning microscopy.
  5. Jovin Thomas M.,DEX ; Hanley Quentin,DEX ; Verveer Peter,DEX, Confocal spectroscopy system and method.
  6. Wang Jyh Pyng,TWX ; Lee Chau-Hwang,TWX, Differential confocal microscopy.
  7. Lanni Frederick ; Taylor D. Lansing ; Bailey Brent, Field synthesis and optical subsectioning for standing wave microscopy.
  8. Schwartz Jacob (Arlington MA), Image enhancement method and apparatus.
  9. Sumi Kazuhiko (Amagasaki JPX) Hashimoto Manabu (Amagasaki JPX) Sakaue Yoshikazu (Amagasaki JPX) Aita Kazuo (Amagasaki JPX) Sasakura Masahiro (Amagasaki JPX) Ozaki Yutaka (Amagasaki JPX), Method and apparatus for determining the shape of wire or like article.
  10. Sieckmann, Frank, Method and apparatus for optical measurement of a surface profile of a specimen.
  11. Nakagawa Yasuo (Chigasaki PA JPX) Nayer Shree K. (Pittsburgh PA), Method of detecting solid shape of object with autofocusing and image detection at each focus level.
  12. Lindow James T. (Saratoga CA) Bennett Simon D. (Los Gatos CA) Smith Ian R. (Los Gatos CA) Melmon Gary A. (Saratoga CA), Semiconductor wafer scanning system.
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