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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0463577 (2006-08-09) |
등록번호 | US-7513215 (2009-07-01) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 49 |
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What is claimed is: 1. An ion-beam source apparatus for the deposition of diamond-like amorphous carbon films on a substrate, the apparatus comprising: a container defining a plasma volume, the container having an opening; an antenna disposed about the plasma volume so that application of a first a
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