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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0137155 (2005-05-25) |
등록번호 | US-7524383 (2009-07-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 203 |
A method and system for passivating a processing chamber is provided, whereby the processing chamber is exposed to one or more cycles of citric acid, or nitric acid. The processing chamber is fabricated, for example, from stainless steel. Each cycle may be performed at a pressure greater than atmosp
What is claimed is: 1. A method of treating internal members of a processing system and treating substrates with supercritical fluid, comprising: without a substrate present in a processing chamber of the system for processing therein, filling the process chamber of the processing system with carbo
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