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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0566038 (2006-12-01) |
등록번호 | US-7531869 (2009-07-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 320 |
Electronic apparatus and methods of forming the electronic apparatus include a lanthanum aluminum oxynitride film on a substrate for use in a variety of electronic systems. The lanthanum aluminum oxynitride film may be structured as one or more monolayers.
What is claimed is: 1. An electronic device comprising: a substrate; and a dielectric layer disposed on the substrate, the dielectric layer containing a lanthanum aluminum oxynitride film doped with a lanthanide other than lanthanum, the lanthanum aluminum oxynitride film structured as one or more
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