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Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05D-007/06
출원번호 UP-0520635 (2003-07-18)
등록번호 US-7543596 (2009-07-01)
국제출원번호 PCT/US03/022579 (2003-07-18)
§371/§102 date 20050321 (20050321)
국제공개번호 WO04/010474 (2004-01-29)
발명자 / 주소
  • Laverdiere, Marc
  • McLoughlin, Robert F.
  • Gonnella, George
  • Gashgaee, Iraj
  • Marrs, Jennifer
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Nields, Lemack & Frame, LLC
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 17

초록

Apparatus and a control system for monitoring (preferably digitally) and/or controlling pressure to a pneumatic load such as a proportional fluid control valve and using a measurement input from a fluid measurement device that responds to a flow rate, the liquid measurement input being used to contr

대표청구항

What is claimed is: 1. Fluid flow control apparatus, comprising: a proportional fluid control valve having a fluid inlet and a fluid outlet; a pneumatic proportional control valve in communication with said proportional fluid control valve for modulating said proportional fluid control valve; means

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Bailey David C. ; Martin Carl A., Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir.
  2. Walton Herbert H. ; Pfantz Douglas C. ; Scott Gary L. ; Bonzer William J. ; Griffin ; Jr. James L. ; Cornu Bernard,FRX ; Day Donald K. ; Adams Paul R., Elastomeric element valve.
  3. Mastuzawa Hironori,JPX, Flow control valve.
  4. Robert F. McLoughlin ; George L. Gonnella ; Timothy J. King, Flow controller.
  5. Morikawa,Fumio; Kondou,Hiroshi, Flow rate control device.
  6. White, William W.; White, William H.; Davis, Christopher B.; Smith, Nelson D., Fluid flow controller and method of operation.
  7. Balazy Richard D. ; Cowan Cathy L. ; Eisenmann Mark R. ; Frink Kenneth E. ; Kulha Edward, Fluid flow controlling.
  8. Inayama, Naoto; Inohara, Tohru, Fluid pressure controller.
  9. Bergamini Lorenzo,ITX, Gas mass flow metering valve.
  10. Haines Lawrence A. (Mapleton UT) Messano Edward A. (Provo UT) Beatty Kenneth L. (Spanish Fork UT) Gooch Robert E. (Provo UT) Glenn Alan H. (Salem UT) O\Hara Dennis E. (Mapleton UT), Integrated process control valve.
  11. Fujita Kazuhiko,JPX, Liquid coating device.
  12. Vavra Randall J. (Orange CA) Doyle Michael J. (Villa Park CA) Vu Kim N. (Yorba Linda CA), Liquid flow controller.
  13. Perry ; Jr. Marney Dunman ; McKibbin Philip J. ; Glasscock Mick,GBX ; Krogue John A., Method and apparatus for regulating gas flow.
  14. Davlin, John T.; Montanino, Greg, Method for dispensing flowable substances on microelectronic substrates.
  15. Lafler, Lawrence R.; Tanner, Douglas J., Pneumatic volume booster for valve positioner.
  16. Sanada Masakazu,JPX, Treating solution supplying method and apparatus.
  17. Clements George W. (Minnetonka MN), Two-component metering pump.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Manzarek, Donovan K.; Vines, John C.; Laessle, John, Apparatus and method for the remote monitoring, viewing and control of a semiconductor process tool.
  2. Liberale, Carlo; Imperiali, Fabio, Control system of an actuator for the actuation of submarine devices.
  3. Weightman, Glenn H.; Lucas, Bruce C., Determining fluid rheological properties.
  4. Weightman, Glenn; Lucas, Bruce, Determining fluid rheological properties.
  5. Nicewonger, Mark, Drawback valve systems and methods for coolant drawback.
  6. Shapira, Yuval, Household electronic mixing-valve device.
  7. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer, Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system.
  8. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer, Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system.
  9. Vines, John C.; Laessle, John, Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method.
  10. Vines, John C.; Laessle, John, Pump having an automated gas removal and fluid recovery system and method using a gas removal reservoir having an internal partition.
  11. Vines, John C.; Laessle, John, Pump system and method having a quick change motor drive.
  12. Calvert, Patrick James; Oram, Paul Roderick Allen, Slug mitigation.
  13. Norlander, Per, Valve with a delta P-function and flow limiting function.
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