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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0355617 (2006-02-16) |
등록번호 | US-7547005 (2009-07-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
A system and method for providing a vapor are described. In one variation, liquid is placed in a containment vessel, and a pressure in the containment vessel is reduced below atmospheric pressure. The pressure in the vessel is monitored and the liquid is heated in response to the sensed pressure fal
What is claimed is: 1. A vapor delivery system, comprising: a chamber adapted to contain a liquid and a vapor from the liquid, wherein the chamber includes a port configured to couple the chamber to a vacuum so as to enable a pressure in the chamber to be lowered below atmospheric pressure; a vapor
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