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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0578162 (2005-04-13) |
등록번호 | US-7604439 (2009-11-10) |
국제출원번호 | PCT/IL05/000390 (2005-04-13) |
§371/§102 date | 20061011 (20061011) |
국제공개번호 | WO05/099350 (2005-10-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 44 인용 특허 : 22 |
An apparatus for supporting a stationary or moving substantially flat object without physical contact on an fluid-cushion. The object floats on a fluid cushion gap, the apparatus aimed for globally or locally adjusting the gap. The apparatus comprising: a first platform for supporting the object wi
The invention claimed is: 1. A method for focusing an optical inspection device on a facing surface of a substantially flat object, the method comprising: supporting the substantially flat object over a platform having a plurality of pressure outlets and a plurality of fluid-evacuation channels, wh
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