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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0835929 (2007-08-08) |
등록번호 | US-7604527 (2009-11-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 290 |
Planarizing workpieces, e.g., microelectronic workpieces, can employ a process indicator which is adapted to change an optical property in response to a planarizing condition. This process indicator may, for example, change color in response to reaching a particular temperature or in response to a p
I claim: 1. A CMP planarizing pad adapted to planarize a microelectronic workpiece, comprising: a matrix adapted to support an abrasive, the matrix having a planar planarizing surface; a thermally responsive fluid in the matrix, the thermally responsive fluid being adapted to change color in respon
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