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[미국특허] Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01R-031/02
출원번호 UP-0963575 (2007-12-21)
등록번호 US-7642794 (2010-02-11)
발명자 / 주소
  • Eldridge, Benjamin N.
  • Grube, Gary W.
  • Matsubayashi, Ken S.
  • Larder, Richard A.
  • Shinde, Makarand S.
  • Mathieu, Gaetan L.
출원인 / 주소
  • FormFactor, Inc.
대리인 / 주소
    Burraston, N. Kenneth
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 37

초록 ▼

The present invention discloses a method and system compensating for thermally induced motion of probe cards used in testing die on a wafer. A probe card incorporating temperature control devices to maintain a uniform temperature throughout the thickness of the probe card is disclosed. A probe card

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. An apparatus comprising: a probe card for testing a die on a wafer; a stiffening element attached to a face of said probe card and adapted to provide structural resistance to planarity deflection of said probe card; and, means for facilitating radial expansion/contraction of

이 특허에 인용된 특허 (37) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Suzuki, Masaru, Apparatus for measuring properties of probe card and probing method.
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  2. Bialobrodski Marian R. ; Lupan Marius R., Automatic probe card planarization system.
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  3. Miyata Eiji (Fuchu) Sugiyama Masahiko (Nirasaki) Kohno Masahiko (Yamanashi) Hatta Masataka (Yamanashi JPX), Electric probing-test machine having a cooling system.
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  4. Kister January, High temperature probe card for testing integrated circuits.
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  5. Lieutard, Thierry; Faure, Bernard; Monnet, Rene, Machine for testing electronic chips.
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  6. Cadieux Robert R. ; Correia George C. ; Hill Gary R. ; Ingraham Anthonty P., Method and apparatus for testing integrated circuit chips.
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  7. Nelson Randall D. (Sun Lakes AZ) Westbrook Gregory L. (Chandler AZ), Method and means for controlling movement of a chuck in a test apparatus.
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  8. Eldridge,Benjamin N.; Grube,Gary W.; Matsubayashi,Ken S.; Larder,Richard A.; Shinde,Makarand; Mathieu,Gaetan L., Method and system for compensating for thermally induced motion of probe cards.
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  9. Eldridge,Benjamin N.; Grube,Gary W.; Matsubayashi,Ken S.; Larder,Richard A.; Shinde,Makarand S.; Mathieu,Gaetan L., Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards.
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  10. Martens, Rod; Eldridge, Benjamin N.; Grube, Gary W.; Matsubayashi, Ken S.; Larder, Richard A.; Shinde, Makarand S.; Mathieu, Gaetan L., Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards.
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  11. Martens, Rod; Eldridge, Benjamin N.; Grube, Gary W.; Matsubayashi, Ken S.; Larder, Richard A.; Shinde, Makarand; Mathieu, Gaetan L., Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards.
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  12. Martens,Rod; Eldridge,Benjamin N.; Grube,Gary W.; Matsubayashi,Ken S.; Larder,Richard A.; Shinde,Makarand; Mathieu,Gaetan L., Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards.
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  13. Mathieu,Gaetan L., Method and system for compensating thermally induced motion of probe cards.
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  14. Eldridge Benjamin N. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L. ; Pedersen David V., Method of making microelectronic spring contact elements.
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  15. Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Method of planarizing tips of probe elements of a probe card assembly.
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  16. Miyazaki Tsutomu (Ooita JPX) Tozawa Shin (Ooita JPX) Etoh Hisahiko (Ooita JPX), Method of testing semiconductor devices using a probe card.
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  17. Kund, Michael, Needle-card adjusting device for planarizing needle sets on a needle card.
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  18. Carney Eric Lane, Planarity verification system for integrated circuit test probes.
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  19. Sano Kunio (Yamanashi-ken JPX), Probe apparatus.
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  20. Yoshioka, Haruhiko, Probe apparatus.
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  21. Saitoh Satoshi (Tokyo JPX) Terada Akihiro (Tokyo JPX), Probe apparatus for inspecting electrical characteristics of a microelectronic element.
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  22. Mori Shigeoki (Ayase JPX) Yokota Keiichi (Nirasaki JPX), Probe apparatus for measuring electrical characteristics of objects.
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  23. Komatsu,Shigekazu; Hyakudomi,Takanori; Chaya,Hiromi; Hayashi,Takahisa; Shigeno,Yukihide, Probe apparatus with optical length-measuring unit and probe testing method.
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  24. Carlin Scott J. (Austin TX) Roberts ; Jr. Samuel (Austin TX), Probe card apparatus having a heating element and process for using the same.
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  25. Kimura Hidetoshi (Nirasaki JPX) Utsunomiya Tetsuya (Kofu JPX) Mochizuki Chiaki (Yamanashi JPX), Probe card assembly and method of manufacturing probe card assembly.
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  26. Theodore A. Khoury ; Robert Edward Aldaz, Probe contact system having planarity adjustment mechanism.
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  27. Sano Kunio (Nakakoma-gun JPX), Probe device.
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  28. Geldermans Pieter (Poughkeepsie NY), Probe device having probe heads and method of adjusting distances between probe heads.
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  29. Kuji Motohiro (Yamanashi-ken JPX) Yoshioka Haruhiko (Yamanashi-ken JPX) Akaike Shinji (Kofu JPX) Takahashi Shigeaki (Yamanashi-ken JPX), Probe system and probe method.
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  30. Iino Shinji,JPX ; Yoshioka Haruhiko,JPX, Prober and probe method.
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  31. Fujihara Hitoshi (Yamanashi JPX) Takao Itaru (Yamanashi JPX), Probing device setting a probe card parallel.
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  32. Nagar, Mohan R., Reducing probe card substrate warpage.
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  33. Ideta Yasushi,JPX ; Washitani Akihiro,JPX ; Umetsu Tsunenori,JPX ; Kaneko Keiko,JPX ; Kobayashi Kunio,JPX, Semiconductor device socket.
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  34. Miki, Kazunobu, Semiconductor element test apparatus, and method of testing semiconductor element using the apparatus.
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  35. Mizuta Masaharu,JPX, Semiconductor inspection device with guide member for probe needle for probe card and method of controlling the same.
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  36. Sato Mitsuya (Yokohama JPX), Wafer prober.
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  37. Sato Mitsuya (Yokohama JPX), Wafer prober and a probe card to be used therewith.
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이 특허를 인용한 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Liao, Chih-Chieh; Sun, Yu-Min; Cheng, Chih-Feng, Probe card.
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  2. Kang, Sang-Boo; Lim, Ki-Sub, Probing method, probe card for performing the method, and probing apparatus including the probe card.
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