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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0146763 (2005-06-06) |
등록번호 | US-7644745 (2010-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 20 인용 특허 : 13 |
A target assembly including a plurality of target tiles bonded to a backing plate by adhesive, for example of indium or conductive polymer, filled into recesses in the backing plate formed beneath each of the target tiles. A sole peripheral recess formed as a rectangular close band may be formed ins
The invention claimed is: 1. A sputtering target assembly, comprising: a backing plate; and at least one target tile bonded to said backing plate in a respective tile area thereof and configured for sputtering from the target tile of a material of the target tile; wherein said backing plate is form
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