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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0743062 (2003-12-23) |
등록번호 | US-7645341 (2010-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 43 인용 특허 : 39 |
A showerhead electrode assembly of a plasma processing apparatus includes a thermal control plate attached to a showerhead electrode, and a top plate attached to the thermal control plate. At least one thermal bridge is provided between opposed surfaces of the thermal control plate and the top plate
What is claimed is: 1. A showerhead electrode assembly of a semiconductor substrate processing apparatus, comprising: a top plate; a showerhead electrode comprising a plate; a backing plate including a bottom surface attached to an upper surface of the plate; a thermal control plate including a cen
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