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특허 상세정보

Substrate storage container

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65D-051/16    B65D-085/30    H01L-021/02   
미국특허분류(USC) 206/710; 206/711; 137/508
출원번호 UP-0034040 (2008-02-20)
등록번호 US-7658290 (2010-04-02)
우선권정보 JP-2002-311275(2002-10-25); JP-2002-344954(2002-11-28)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Darby & Darby P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 11
초록

A substrate storage container includes a container body for accommodating and aligning semiconductor wafers, a door which opens and closes the front of the container body and a pair of valve units disposed at the bottom of the container body for controlling gas flow. Each valve unit includes a fixed sleeve for gas flow, fitted in a rib of a through-hole of the container body, a holding sleeve fitted in the through-hole of the container body with an o-ring interposed therebetween and mated and threaded with the fixed sleeve, a check valve built between th...

대표
청구항

The invention claimed is: 1. A substrate storage container including: a container body; a door for opening and closing the container body; a valve unit attached to a through-hole formed in the bottom of the container body, for regulating the gas flow with respect to the container body, characterized in that the valve unit comprises: a fixed sleeve for gas flow, fitted in the through-hole; a holding sleeve for gas flow, threadably mated with the fixed sleeve; and an elastic check valve built in between the fixed sleeve and the holding sleeve; wherein the...