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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0834657 (2007-08-06) |
등록번호 | US-7718011 (2010-06-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 116 |
A method and apparatus for cleaning, rinsing and Marangoni drying substrates is provided. The invention includes spraying a line of fluid to a substrate, thereby creating an air/fluid interface line on the substrate; supplying a line of drying vapors to the air/fluid interface line, thereby creating
The Invention claimed is: 1. A method of drying a substrate comprising: lifting a submerged substrate from a tank of fluid; spraying a line of liquid to the substrate, thereby creating an air/liquid interface line on the substrate; spraying a line of drying vapors to the air/liquid interface line,
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