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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0295381 (2005-12-06) |
등록번호 | US-7722720 (2010-06-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 13 |
Delivery devices for delivering solid precursor compounds in the vapor phase to reactors are provided. Such devices include a precursor composition of a solid precursor compound with a layer of packing material disposed thereon. Also provided are methods for transporting a carrier gas saturated with
What is claimed is: 1. A vapor phase delivery device for solid precursor compounds comprising an outlet chamber and an inlet chamber comprising a precursor composition comprising a single layer of solid precursor compound and a single layer of packing material disposed on the solid precursor compou
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