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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0709041 (2007-02-21) |
등록번호 | US-7723169 (2010-06-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 2 |
The present invention provides laser beam micro-smoothing for laser annealing systems. Laser beam micro-smoothing comprises shifting a laser beam in the direction perpendicular to the scanning direction (y) of a laser annealing system, while holding the laser beam fixed in the direction of scanning
What is claimed is: 1. A method for smoothing effects caused by inhomogeneities in a laser beam, comprising the steps of: positioning a line of focus of said laser beam at a first position on a surface of a work piece, with the long axis of the line focus being in the y-direction; processing said f
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