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[미국특허] Air bridge structures and methods of making and using air bridge structures 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-011/30
  • G06F-017/40
  • G06F-019/00
출원번호 UP-0259791 (2008-10-28)
등록번호 US-7729878 (2010-06-22)
발명자 / 주소
  • Mathieu, Gaetan L.
출원인 / 주소
  • FormFactor, Inc.
대리인 / 주소
    Burraston, N. Kenneth
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 30

초록

A probe card assembly, according to some embodiments of the invention, can comprise a tester interface configured to make electrical connections with a test controller, a plurality of electrically conductive probes disposed to contact terminals of an electronic device to be tested, and a plurality o

대표청구항

What is claimed is: 1. A probe card assembly comprising: a wiring substrate; a tester interface coupled to the wiring substrate and configured to make electrical connections with a test controller; a probe head assembly coupled to the wiring substrate; a plurality of electrically conductive probes

이 특허에 인용된 특허 (30) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Mathieu,Gaetan L., Air bridge structures and methods of making and using air bridge structures.
  2. Miyata Masahiro (Urayasu JPX) Egawa Hidemitsu (Tokyo JPX) Fukuhara Johta (Tokyo JPX) Takeda Shinzi (Yokohama JPX) Ezawa Hirokazu (Tokyo JPX), Apparatus and method of manufacturing semiconductor device.
  3. Brar, Berinder P. S.; Li, James Chingwei; Higgins, John A., Bipolar transistor characterization apparatus with lateral test probe pads.
  4. Benjamin N. Eldridge ; Gary W. Grube ; Igor Y. Khandros ; Alec Madsen ; Gaetan L. Mathieu, Contact structures with blades having a wiping motion.
  5. Khandros Igor Y. ; Eldridge Benjamin N. ; Mathieu Gaetan L., Fabricating interconnects and tips using sacrificial substrates.
  6. Fjelstad Joseph, Fabrication of deformable leads of microelectronic elements.
  7. Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Flexible contact structure with an electrically conductive shell.
  8. Mathieu, Gaetan L.; Eldridge, Benjamin N., Interconnect for microelectronic structures with enhanced spring characteristics.
  9. Mathieu Gaetan L. ; Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W., Lithographic contact elements.
  10. Leedy, Glenn J, Lithography device for semiconductor circuit pattern generation.
  11. Leedy,Glenn J, Lithography device for semiconductor circuit pattern generator.
  12. Leedy,Glenn J, Membrane 3D IC fabrication.
  13. Leedy,Glenn J, Membrane 3D IC fabrication.
  14. Benjamin N. Eldridge ; Gary W. Grube ; Igor Y. Khandros ; Gaetan L. Mathieu, Method of fabricating an interconnection element.
  15. Mathieu, Gaetan L.; Eldridge, Benjamin N.; Wenzel, Stuart W., Method of fabricating shaped springs.
  16. Speakman, Stuart; Bresler, Eric; Gardner, Ian Andrew, Method of forming a masking pattern on a surface.
  17. Yee Ian Y. K. (Austin TX), Method of making a multilevel electrical airbridge interconnect.
  18. Leedy,Glenn J, Method of making an integrated circuit.
  19. Leedy Glenn Joseph, Method of making dielectrically isolated integrated circuit.
  20. Pommer Richard J., Method of manufacturing a printed circuit assembly.
  21. Khandros Igor Y. (Peekskil NY), Method of manufacturing electrical contacts, using a sacrificial member.
  22. Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Method of planarizing tips of probe elements of a probe card assembly.
  23. Leedy,Glenn J, Methods for maskless lithography.
  24. Grube, Gary W.; Mathieu, Gaetan L.; Madsen, Alec, Microelectronic contact structure.
  25. Mathieu, Gaetan L.; Eldridge, Benjamin N.; Grube, Gary W., Planarizer for a semiconductor contactor.
  26. Pommer Richard John, Printed circuit assembly and method of manufacture therefor.
  27. Ruszczyk Stanley J. (Naugatuck CT) Ferrier Donald R. (Thomaston CT) Larson Gary B. (Cheshire CT) Gallegos Daniel (Anaheim CA) Castaldi Steven A. (Waterbury CT), Process for preparing multilayer printed circuit boards.
  28. Dozier ; II Thomas H. ; Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L. ; Pedersen David V. ; Stadt Michael A., Sockets for "springed" semiconductor devices.
  29. Leedy, Glenn Joseph, Stress-controlled dielectric integrated circuit.
  30. Leedy,Glenn J., Vertical system integration.

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