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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0422164 (2009-04-10) |
등록번호 | US-7746088 (2010-07-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 105 |
A method and apparatus for testing a plurality of electronic devices formed on a large area substrate is described. In one embodiment, the apparatus performs a test on the substrate in one linear axis in at least one chamber that is slightly wider than a dimension of the substrate to be tested. Clea
The invention claimed is: 1. An apparatus for testing electronic devices on a large area substrate, comprising: a testing platform having a substrate support disposed thereon; an end effector movably disposed in the substrate support; and one or more testing columns coupled to the testing platform,
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