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Datum plate for use in installations of substrate handling systems 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65G-065/34
출원번호 UP-0099773 (2008-04-08)
등록번호 US-7794195 (2010-10-04)
발명자 / 주소
  • Weaver, William Tyler
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Dugan & Dugan
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 23

초록 ▼

A datum plate is provided for use in installations of substrate handling systems. The datum plate has a set of predetermined attachment locations adapted to couple the datum plate to a chamber; a set of predetermined attachment locations adapted to couple one or more automatic door opener platforms

대표청구항 ▼

The invention claimed is: 1. A method of installing substrate handling equipment, comprising: providing a support frame; coupling a datum plate to the support frame; coupling an automatic door opener station to a predetermined mounting location on the datum plate, wherein the automatic door opener

이 특허에 인용된 특허 (23)

  1. Prentakis Antonios E. (Cambridge MA), Apparatus and method for loading and unloading wafers.
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  2. Nulman, Jaim; Sidi, Nissim, Apparatus for storing and moving a cassette.
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  3. Nulman, Jaim; Sidi, Nissim, Apparatus for storing and moving a cassette.
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  4. Nulman,Jaim; Sidi,Nissim, Apparatus for storing and moving a cassette.
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  5. Perlov Ilya ; Gantvarg Evgueni ; Belitsky Victor, Apparatus for storing and moving a cassette.
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  6. Rice,Michael R.; Englhardt,Eric A.; Lowrance,Robert B.; Elliott,Martin R.; Hudgens,Jeffrey C.; Van Katwyk,Kirk; Puri,Amit, Calibration of high speed loader to substrate transport system.
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  7. Weaver,William Tyler, Datum plate for use in installations of substrate handling systems.
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  8. Rice,Michael R.; Englhardt,Eric A.; Lowrance,Robert B.; Elliott,Martin R.; Hudgens,Jeffrey C., Dynamically balanced substrate carrier handler.
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  9. Bacchi Paul ; Filipski Paul S., FIMS transport box load interface.
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  10. Leyden Robin D. (3387 Denise La. Canoga Park CA 91304), Lead screw servo system controlled by a control track.
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  11. Cheng David, Method and apparatus for handling and testing wafers.
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  12. Cheng David, Method and apparatus for loading and unloading wafers from a wafer carrier.
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  13. Elliott,Martin R.; Rice,Michael Robert, Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier.
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  14. Rice,Michael R.; Englhardt,Eric A.; Lowrance,Robert B.; Elliott,Martin R.; Hudgens,Jeffrey C.; Van Katwyk,Kirk; Puri,Amitabh, Monitoring of smart pin transition timing.
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  15. Saeki, Hiroaki; Taniyama, Yasushi, Semiconductor processing system.
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  16. Kim Yu Kweon,KRX ; Kim Dong Ho,KRX, Semiconductor wafer testing apparatus with a combined wafer alignment/wafer recognition station.
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  17. Jun Fujita JP, Servo control apparatus and method of stabilizing same.
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  18. Rice,Michael Robert; Elliott,Martin R.; Lowrance,Robert B.; Hudgens,Jeffrey C.; Englhardt,Eric Andrew, Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyer.
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  19. Rice,Michael Robert; Elliott,Martin R.; Lowrance,Robert B.; Hudgens,Jeffrey C.; Englhardt,Eric Andrew, Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor.
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  20. Rice,Michael Robert; Elliott,Martin R.; Lowrance,Robert B.; Hudgens,Jeffrey C.; Englhardt,Eric Andrew, Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor.
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  21. Suda Atsuhiko,JPX ; Toyoda Kazuyuki,JPX ; Makiguchi Issei,JPX ; Ozawa Makoto,JPX, Substrate processing apparatus.
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  22. Bonora Anthony C. ; Cortez Edward J. ; Kyffin John D. ; Ng Michael, Tilt and go load port interface alignment system.
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  23. Nering Eric A. ; Perlov Ilya ; Gantvarg Eugene ; Belitsky Victor, Wafer cassette load station.
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