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Foamed mechanical planarization pads made with supercritical fluid 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B29C-044/36
출원번호 US-0650047 (2007-01-04)
등록번호 US7862316 (2010-12-20)
발명자 / 주소
  • Kramer, Stephen J.
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Wells St. John P.S
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 21

초록 ▼

Foamed thermoplastic polymeric mechanical planarization polishing pads (“MP pads”) made with supercritical fluids are presented. A supercritical fluid foaming agent is dissolved in a thermoplastic polymer. A rapid change in the solubility and volume of the supercritical fluid foaming agent in the th

대표청구항 ▼

I claim: 1. Apparatus for fabricating foamed thermoplastic polymeric mechanical planarization polishing pads using supercritical fluid, the apparatus comprising:a mechanical planarization polishing pad mold;an extrusion system used for molding a solid thermoplastic polymer in a mechanical planarizat

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Tolles Robert D. ; Mear Steven T. ; Prabhu Gopalakrishna B. ; Zuniga Steven ; Chen Hung, CMP polishing pad.
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  2. Berman Michael J., Conditioning CMP polishing pad using a high pressure fluid.
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  3. Campbell Gregory A. (Canton NY) Rasmussen Don H. (Canton NY), Controlling heterogeneous nucleation and growth of foams.
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  4. Mukaiyama Shigemi (Suzuka JPX) Noro Shoji (Suzuka JPX), Expandable fluorine-contained polymer compositions and foams of fluorine-contained polymer obtained from the composition.
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  5. Tupil Srinath P. ; Buchner Klaus,CHX ; Lahmann Patrick M., Lamination of microcellular articles.
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  6. Finkelman Alex, Method and apparatus for conditioning a polishing pad.
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  7. Burnham Theodore A. ; Cha Sung W. ; Walat Robert H. ; Kim Roland Y. ; Anderson Jere R. ; Stevenson James F. ; Suh Nam P. ; Pallaver Matthew, Method and apparatus for microcellular polymer extrusion.
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  8. Blizard Kent ; Tupil Srinath ; Malavich William, Method and apparatus for microcellular polypropylene extrusion, and polypropylene articles produced thereby.
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  9. Park Chul B.,CAX ; Suh Nam P. ; Baldwin Daniel F., Method for providing continuous processing of microcellular and supermicrocellular foamed materials.
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  10. Shamouillan Shamouil (San Jose CA) Clark Daniel O. (Pleasanton CA), Method of fabricating chemical-mechanical polishing pad providing polishing uniformity.
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  11. Xu Jingyi, Methods for manufacturing foam material including systems with pressure restriction element.
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  12. Blizard Kent ; Okamoto Kelvin T. ; Anderson Jere R., Microcellular articles and methods of their production.
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  13. Blizard Kent ; Okamoto Kelvin T. ; Anderson Jere R., Microcellular articles and methods of their production.
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  14. Cha Sung W. (Cambridge MA) Suh Nam P. (Sudbury MA) Baldwin Daniel F. (Medford MA) Park Chul B. (Cambridge MA), Microcellular thermoplastic foamed with supercritical fluid.
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  15. Budinger William D. (Kennett Square PA) Jensen Elmer W. (Wilmington DE), Pad material for grinding, lapping and polishing.
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  16. Cook Lee Melbourne ; James David B. ; Jenkins Charles William ; Reinhardt Heinz F. ; Roberts John V. H. ; Pillai Raj Raghav, Polishing pads and methods relating thereto.
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  17. Roberts John H. V. ; James David B. ; Cook Lee Melbourne, Polishing pads and methods relating thereto.
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  18. Sevilla Roland K. ; Kaufman Frank B. ; Anjur Sriram P., Polishing pads for a semiconductor substrate.
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  19. Baldwin Daniel F. (Medford MA) Suh Nam P. (Sudbury MA) Park Chul B. (Cambridge MA) Cha Sung W. (Cambridge MA), Supermicrocellular foamed materials.
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  20. Obeng, Yaw S.; Yokley, Edward M., Thermal management with filled polymeric polishing pads and applications therefor.
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  21. St. Clair David John ; Erickson James Robert, Waterborne dispersions of epoxidized polydiene block copolymers and amino resins.
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