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Humidifying apparatus, lithographic apparatus and humidifying method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01F-003/04
출원번호 US-0710428 (2007-02-26)
등록번호 US7866637 (2010-12-28)
발명자 / 주소
  • Van Der Net, Antonius Johannus
출원인 / 주소
  • ASML Netherlands B.V.
대리인 / 주소
    Pillsbury Winthrop Shaw Pittman LLP
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 8

초록

A humidifying apparatus is disclosed in which gas is provided to a first side of a membrane and liquid to a second side of the same membrane. The membrane is non-porous to the liquid but porous to vapor of the liquid and is liquidphilic to said liquid.

대표청구항 ▼

The invention claimed is: 1. A humidifying apparatus comprising:a membrane;a first conduit configured to flow gas onto one side of said membrane;a second conduit configured to flow liquid onto the other side of said membrane; anda pre-humidifier apparatus, other than the membrane, configured to pre-

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Jackson, Richard R., Airway humidifier for the respiratory tract.
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  2. Katou Hitoshi,JPX ; Sakai Kazunari,JPX ; Kambe Toshio,JPX ; Oi Kazumi,JPX, Apparatus and method for adding carbon dioxide gas to ultra pure water.
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  3. McElroy James F. (Suffield CT) Smith William F. (Suffield CT) Genovese Joseph E. (East Granby CT), Atmosphere membrane humidifier and method and system for producing humidified air.
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  4. Oetjen Georg-Wilhelm (Lbeck DEX) Benthin Frank (Lbeck-Hamberge DEX), Humdifier and heater for air to be inhaled for connection to an inhalation conduit of a respirator.
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  5. DiDomenico Nicholas F. (Mertztown PA), Humidification device.
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  6. Iwamoto Junjiro,JPX, Humidifier for inhalant gas.
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  7. Hamasaki Sadakatu (Okayama JPX), Water-evaporation conduit for a humidifier.
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  8. Benthin Frank (Lbeck-Hamberge DEX), Y-Fitting in the patient system of respirators.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Castillo, Mario Alberto, LED lens.
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  2. Spiegelman, Jeffrey J.; Blethen, Richard D., Method of producing high purity steam.
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  3. Spiegelman, Jeffrey J.; Blethen, Richard D., Method of producing high purity steam.
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  4. Spiegelman, Jeffrey J.; Blethen, Richard D., Methods and devices for producing high purity steam.
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  5. Wiederin, Daniel R., System for humidifying gas streams.
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