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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0774686 (2007-07-09) |
등록번호 | US7878375 (2011-01-18) |
우선권정보 | JP-2006-006-190460(2006-07-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 6 |
A chemical liquid supply device applies chemical liquid from a nozzle to a processed object. The nozzle is provided in a moving head, which reciprocates between an applying position and a waiting position and includes an application valve operating so as to take an applying state of applying the liq
What is claimed is: 1. A chemical liquid supply device for supplying chemical liquid to a processed object, the device comprising:a moving head including a nozzle for applying the chemical liquid, the moving head reciprocating between an applying position and a waiting position by a reciprocating me
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