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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0382395 (2006-05-09) |
등록번호 | US7882891 (2011-01-26) |
우선권정보 | JP-2005-005-138892(2005-05-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 12 |
A precision surface plate has a hollow casing with a reference plane used as a surface on which either or both of a workpiece and mechanical equipment are placed, a honeycomb structure, which is a collection of substantially identically-shaped enclosed cells disposed inside the casing, and a heat tr
What is claimed is: 1. A precision surface plate comprising:a hollow casing having a reference plane used as a surface on which at least one of a workpiece and mechanical equipment are placed;a honeycomb structure, formed of collection of substantially identically-shaped enclosed cells, disposed ins
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