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[미국특허] Re-assembly process for MEMS structures 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0420403 (2006-05-25)
등록번호 US7897435 (2011-02-15)
발명자 / 주소
  • Eldridge, Benjamin N.
  • Mathieu, Gaetan L.
출원인 / 주소
  • FormFactor, Inc.
대리인 / 주소
    Kirton & McConkie
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 14

초록 ▼

Methods of fabricating an array of aligned microstructures on a substrate are disclosed. The microstructures may be spring contacts or other microelements. The methods disclosed include construction of an alignment substrate, alignment of die elements with the alignment substrate, and fixation of th

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. A method for constructing an array of microstructures comprising:providing a substrate having a plurality of substrate guide marks and a plurality of microstructures;separating said substrate into a plurality of dice each having at least one of said substrate guide marks;provi

이 특허에 인용된 특허 (14) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Khandros Igor Y. ; Eldridge Benjamin N. ; Mathieu Gaetan L. ; Dozier Thomas H. ; Smith William D., Contact carriers (tiles) for populating larger substrates with spring contacts.
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  2. Benjamin N. Eldridge ; Gary W. Grube ; Igor Y. Khandros ; Alec Madsen ; Gaetan L. Mathieu, Contact structures with blades having a wiping motion.
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  3. Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Flexible contact structure with an electrically conductive shell.
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  4. Eldridge, Benjamin N.; Mathieu, Gaetan, Interconnect assemblies and methods.
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  5. Mathieu Gaetan L. ; Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W., Lithographic contact elements.
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  6. Ondricek, Douglas S.; Pedersen, David V., Method for mounting an electronic component.
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  7. Benjamin N. Eldridge ; Gary W. Grube ; Igor Y. Khandros ; Gaetan L. Mathieu, Method of fabricating an interconnection element.
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  8. Chen Jimmy Kuo-Wei ; Eldridge Benjamin N. ; Dozier Thomas H. ; Yeh Junjye J. ; Herman Gayle J., Method of making a product with improved material properties by moderate heat-treatment of a metal incorporating a dilute additive.
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  9. Mathieu Gaetan L. ; Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W., Method of making and using lithographic contact springs.
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  10. Khandros Igor Y. (Peekskil NY), Method of manufacturing electrical contacts, using a sacrificial member.
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  11. Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y ; Mathieu Gaetan L., Method of modifying the thickness of a plating on a member by creating a temperature gradient on the member, applications for employing such a method, and structures resulting from such a method.
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  12. Eldridge Benjamin N. ; Grube Gary W. ; Khandros Igor Y. ; Mathieu Gaetan L., Method of planarizing tips of probe elements of a probe card assembly.
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  13. Eldridge,Benjamin N.; Mathieu,Gaetan L., Re-assembly process for MEMS structures.
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  14. Khandros Igor Y. ; Pedersen David V., Wafer-level burn-in and test.
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