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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0511335 (2003-04-15) |
등록번호 | US7900373 (2011-02-23) |
우선권정보 | DE-2002-02 16 786(2002-04-15) |
국제출원번호 | PCT/EP03/03937 (2003-04-15) |
§371/§102 date | 20050505 (20050505) |
국제공개번호 | WO/088323 (2003-10-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 0 |
The present invention provides a method for conditioning semiconductor wafers and/or hybrids having the steps: preparation of a space (1) which is at least partially enclosed and has a wafer/hybrid holding device (10) which is located therein and has the purpose of holding a semiconductor wafer and/
The invention claimed is: 1. A method for conditioning semiconductor wafers and/or hybrids comprising:preparing a space which is essentially enclosed by a container and has a wafer/hybrid chuck which is located therein and has the purpose of holding a semiconductor wafer and/or hybrid applied to the
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