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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0943065 (2007-11-20) |
등록번호 | US7922864 (2011-03-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 0 |
A tube-array showerhead for CVD or PECVD on large substrates delivers precursors to a process chamber via an array of tubes drilled with precision holes. The tubes rapidly become contaminated with use and must be changed frequently to maintain process quality. An improved manifold for a tube-array s
The invention claimed is: 1. A tube-array showerhead, comprising:two precursor plena, each having at least one plenum inlet for receiving precursors to be distributed,two manifold blocks, attached to the precursor plena and each having at least one precursor inlet for receiving precursors from the a
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