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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0697390 (2007-04-06) |
등록번호 | US7946800 (2011-05-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 0 |
A substrate transport apparatus including a drive section having at least one drive shaft and at least two scara arms operably coupled to the at least one drive shaft, the at least one drive shaft being a common drive shaft for the at least two scara arms effecting extension and retraction of the at
What is claimed is: 1. A substrate transport apparatus comprising:a drive section having at least one drive shaft; andat least two scara arms operably coupled to the at least one drive shaft, the at least one drive shaft being a common drive shaft for the at least two scara arms effecting extension
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