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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0616484 (2006-12-27) |
등록번호 | US7993081 (2011-07-27) |
우선권정보 | JP-2006-006-001865(2006-01-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 23 |
A device capable of causing a substrate to float by a gas can suppress the consumption of a gas. The device includes a carrying passage along which a substrate is carried. The gas spouted through the gas spouting pores causes the substrate to float and creates gas flows in the carrying gas flow groo
What is claimed is: 1. A substrate carrying device comprising:a carrying passage forming member forming a carrying passage extending in a substrate carrying direction;flotation gas spouting pores formed in the carrying passage forming member and arranged along the carrying passage to spout a flotati
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