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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0731729 (2007-03-30) |
등록번호 | US8011388 (2011-08-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 126 |
A MEMS device is disclosed having a single microvalve actuator for controlling multiple microvalves. Exemplary embodiments include a MEMS device including two microvalves formed on a beam positioned by an actuator, the two microvalves controlling separate flow paths between two separate pairs of por
What is claimed is: 1. A MEMS device that comprises:a valve body formed of multiple planar layers, including an upper layer, a lower layer and an intermediate layer disposed between the upper layer and the lower layer, the intermediate layer defining a cavity therein;an actuator disposed in the inte
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