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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0326792 (2008-12-02) |
등록번호 | US8012876 (2011-08-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 114 |
A method is disclosed that uses solid precursors for semiconductor processing. A solid precursor is provided in a storage container. The solid precursor is transformed into a liquid state in the storage container. The liquid state precursor is transported from the storage container to a liquid holdi
What is claimed is: 1. A method for semiconductor processing comprising:providing a precursor in a solid state in a storage container;intermittently heating the storage container to a temperature above the melting temperature of the precursor, thereby intermittently transforming the precursor from t
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