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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0698009 (2010-02-01) |
등록번호 | US8021215 (2011-09-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 16 |
A carrier head that has a housing, a base assembly, a retaining ring, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The base assembly is vertically movable relative to the housing. The retaining ring is connected to and vertically movable relative to the base assembly and has a lower surface
What is claimed is: 1. A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate on a polishing pad, comprising:a base;an annular retaining ring having an inner surface configured to circumferentially surround an edge of the substrate to retain the substrate, an outer surface, and a lower surf
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