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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0660068 (2010-02-19) |
등록번호 | US8034734 (2011-09-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 44 인용 특허 : 29 |
A solid solution-comprising ceramic article useful in semiconductor processing, which is resistant to erosion by halogen-containing plasmas. The solid solution-comprising ceramic article is formed from a combination of yttrium oxide and zirconium oxide. In a first embodiment, the ceramic article inc
We claim: 1. A bulk ceramic article which is resistant to erosion by halogen-containing plasmas used in semiconductor processing, where said bulk ceramic article formed from yttrium oxide at a molar concentration ranging from about 90 mole % to about 70 mole %, and zirconium oxide at a molar concent
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