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[미국특허] Lens coil cooling of a magnetic lens 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-001/50
출원번호 US-0047614 (2008-03-13)
등록번호 US8044368 (2011-10-12)
우선권정보 EP-2007-7005310(2007-03-14)
발명자 / 주소
  • Adamec, Pavel
출원인 / 주소
  • ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftecknik mbH
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 17

초록 ▼

A magnetic lens for a charged particle beam device and a charged particle beam device are provided. The magnetic lens includes a coil with coil windings to be excited for generation of a magnetic field, a pole piece to guide the magnetic field, a heat shield, which is connected to a cooling system,

대표청구항 ▼

The invention claimed is: 1. A magnetic lens for a charged particle beam device, comprising:a coil including coil windings to be excited for generation of a magnetic field;a pole piece to guide the magnetic field;a heat shield, which is in thermal contact with a cooling system; anda thermal insulati

이 특허에 인용된 특허 (17) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Kuriyama Toru,JPX ; Takahashi Masahiko,JPX ; Chandratilleke Rohana,JPX ; Ohtani Yasumi,JPX ; Nakagome Hideki,JPX, Adiabatic apparatus.
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  2. Bakker Johan G. (Eindhoven NLX) Asselbergs Peter E. S. J. (Eindhoven NLX), Charged particle beam system and cooling device, a coil comprising a cooling member and a cooling member for use in such.
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  3. Kendall Rodney Arthur, Cooling method and apparatus for charged particle lenses and deflectors.
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  4. Jasinski,Thomas; Winkler,Dieter; Eckes,William A., Cooling module for charged particle beam column elements.
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  5. Kubozoe Morioki (Katsuta JPX) Sato Hisasi (Katsuta JPX), Electron lens assembly.
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  6. Leong Ying, Liquid cryogen-free superconducting magnet system.
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  7. Bierhoff, Martinus Petrus Maria; Kooijman, Cornelis Sander Kees; Sanford, Colin August, Magnetic lens.
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  8. Gerlach Robert L. (Minnetonka MN), Magnetic lens.
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  9. Dietrich Isolde (Munich DEX) Fox Fred (Munich DEX) Knapek Erwin (Unterhaching DEX) Nachtrieb Karl (Munich DEX) Weyl Reinhard (Assling DEX) Zerbst Helmut (Munich DEX) LeFranc Guy (Munich DEX), Magnetic lens arrangement for corpuscular radiation equipment working under a vacuum.
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  10. Ermilov Igor V. (ulitsa Sovetskaya ; 31 ; kv. 24 Reutov ; Moskovskaya oblast SUX) Kozlov Lev V. (Marxistskaya ulitsa ; l ; korpus l ; kv. 199 Moscow SUX) Martynov Vladimir F. (ulitsa Volkovskaya ; 5a, Magnetic system.
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  11. Feuerbaum, Hans-Peter; Winkler, Dieter, Method and device for focusing a charged particle beam.
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  12. Kameoka Yoko (Hitachi JPX) Fukumoto Hideshi (Hitachi JPX) Yoshioka Ken (Hitachioota JPX) Takizawa Teruhiro (Hitachi JPX) Sonobe Tadasi (Iwaki JPX) Suzuki Fumio (Hitachi JPX), Superconducting magnet.
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  13. Laskaris Evangelos T. (Schenectady NY) Minas Constantinos (Slingerlands NY) Ackermann Robert A. (Schenectady NY), Superconducting magnet having a shock-resistant support structure.
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  14. Minas Constantinos (Slingerlands NY) Gross Dan A. (Niskayuna NY), Superconducting magnet with re-entrant tube suspension resistant to buckling.
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  15. Herd Kenneth Gordon (Niskayuna NY) Dorri Bizhan (Clifton Park NY), Superconductive magnet having a thermal shield.
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  16. Ackermann Robert A. (Schenectady NY), Superconductive magnet with thermal diode.
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  17. Laskaris, Evangelos Trifon, Thermal shield suspension for superconductive magnets.
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이 특허를 인용한 특허 (1) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Urbanus, Willem Henk; Wieland, Marco Jan-Jaco, Multi-electrode cooling arrangement.
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활용도 분석정보

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