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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0724656 (2010-03-16) |
등록번호 | US8049252 (2011-10-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 71 인용 특허 : 130 |
Transistors are fabricated by forming a protective layer having a first opening extending therethrough on a substrate, forming a dielectric layer on the protective layer having a second opening extending therethrough that is wider than the first opening, and forming a gate electrode in the first and
That which is claimed: 1. A transistor, comprising:a protective layer having a first opening extending therethrough, wherein the protective layer comprises a high-purity nitride (HPN) layer;a dielectric layer on the protective layer, the dielectric layer having a second opening extending therethroug
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