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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0489547 (2009-06-23) |
등록번호 | US8053739 (2011-10-25) |
우선권정보 | DE-2008-0 2008 029 609(2008-06-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 3 |
A device to measure the beam spot of a particle beam, has a device that records the projections of the beam spot in many directions that are essentially perpendicular to the direction of the particle beam, and an analysis device that reconstructs a two-dimensional cross section profile of the partic
I claim as my invention: 1. A device for measuring a beam spot of a particle beam, comprising:a beam spot recording device that records respective projections of a beam spot of a particle beam in each of a plurality of different directions and links the respective projections with a time stamp that
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