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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0210086 (2008-09-12) |
등록번호 | US8061923 (2011-11-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 5 |
A coupling arrangement for coupling a light source subsystem with a scanner subsystem in a UV lithography system is disclosed. The arrangement includes a source flange having a plurality of ramped eared flanges coupled to one of the light source subsystem and the scanner subsystem. The arrangement a
What is claimed is: 1. A UV lithography system, comprising:a light source subsystem comprising a light source output tube;a scanner subsystem; anda coupling arrangement for coupling said light source subsystem with said scanner subsystem, comprising:a source flange having a plurality of radially out
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