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[미국특허] Surface emitting laser manufacturing method, surface emitting laser array manufacturing method, surface emitting laser, surface emitting laser array, and optical apparatus including surface emitting laser array 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01S-005/00
출원번호 US-0958987 (2010-12-02)
등록번호 US8068529 (2011-11-16)
우선권정보 JP-2008-008-198951(2008-07-31)
발명자 / 주소
  • Ikuta, Mitsuhiro
  • Inao, Yasuhisa
  • Yamaguchi, Takako
출원인 / 주소
  • Canon Kabushiki Kaisha
대리인 / 주소
    Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 14

초록 ▼

Provided is a surface emitting laser manufacturing method, etc., which reduces process damage occurring to a surface relief structure, enabling stable provision of a single transverse mode characteristic. Provided is a method including a surface relief structure for controlling a reflectance in a li

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. A surface emitting laser comprising:a lower minor, an active layer and an upper mirror stacked on a substrate; anda surface relief structure including a stepped structure provided at a light emitting portion of the upper mirror to control a reflectance,wherein the surface reli

이 특허에 인용된 특허 (14) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Ueda, Daisuke; Takigawa, Shinichi, Method for fabricating semiconductor light-emitting device.
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  2. Supper,Daniel, Method for producing a vertically emitting laser.
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  3. Supper,Dipl. Ing. Daniel, Method for producing a vertically emitting laser.
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  4. Collins,Douglas; Li,Neinyi, Method of fabricating single mode VCSEL for optical mouse.
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  5. Duboz Jean-Yves,FRX, Optoelectronic quantum well device having an optical resonant cavity and sustaining inter subband transitions.
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  6. Ackley Donald E. (Paradise Valley AZ) Shieh Chan-Long (Paradise Valley AZ), Patterened mirror vertical cavity surface emitting laser.
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  7. Uchida, Tatsuro; Ikuta, Mitsuhiro; Takeuchi, Tetsuya, Process for producing surface emitting laser, process for producing surface emitting laser array, and optical apparatus including surface emitting laser array produced by the process.
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  8. Ueda,Daisuke; Takigawa,Shinichi, Semiconductor light-emitting device and method for fabricating the same.
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  9. Nagatomo, Yasuhiro; Hori, Yuichiro; Ikuta, Mitsuhiro, Structure using photonic crystal and surface emitting laser.
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  10. Ikuta, Mitsuhiro, Surface emitting laser.
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  11. Jikutani, Naoto, Surface emitting laser device and production method.
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  12. Ueki Nobuaki,JPX, Surface emitting semiconductor laser.
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  13. Ikuta,Mitsuhiro, Surface-emitting laser and method for producing the same.
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  14. Maeda, Osamu; Shiozaki, Masaki; Yamaguchi, Norihiko; Yamauchi, Yoshinori; Arakida, Takahiro, Vertical cavity surface emitting laser and method for manufacturing the same.
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이 특허를 인용한 특허 (1) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Akaike, Yasuhiko; Natsume, Yoshinori; Nunotani, Shinji; Furukawa, Kazuyoshi, Semiconductor light emitting element and method for manufacturing same.
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활용도 분석정보

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