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Method of forming an electronic device using a separation technique 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/3205
출원번호 US-0467035 (2009-05-15)
등록번호 US8076215 (2011-11-29)
발명자 / 주소
  • Mathew, Leo
  • Jawarani, Dharmesh
출원인 / 주소
  • AstroWatt, Inc.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 14

초록

A method of forming an electronic device can include forming a patterned layer adjacent to a side of a substrate including a semiconductor material. The method can also include separating a semiconductor layer and the patterned layer from the substrate, wherein the semiconductor layer is a portion o

대표청구항

What is claimed is: 1. A method comprising:forming a first junction in a semiconductor substrate;forming a region of hydrogen in the semiconductor substrate;forming a dielectric layer over a first side of a semiconductor substrate;patterning the dielectric layer to form a patterned dielectric layer

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Eddy Michael M. (Santa Barbara CA), Method for epitaxial lift-off for oxide films utilizing superconductor release layers.
  2. Bruel Michel,FRX ; Aspar Bernard,FRX, Method for obtaining a thin film in particular semiconductor, comprising a protected ion zone and involving an ion implantation.
  3. Sato Nobuhiko,JPX ; Yonehara Takao,JPX ; Sakaguchi Kiyofumi,JPX, Method for producing semiconductor substrate.
  4. Doyle, Brian S., Method of delaminating a pre-fabricated transistor layer from a substrate for placement on another wafer.
  5. Mathew, Leo; Jawarani, Dharmesh, Method of forming an electronic device using a separation-enhancing species.
  6. Aspar, Bernard; Bruel, Michel; Poumeyrol, Thierry, Method of producing a thin layer of semiconductor material.
  7. Letertre, Fabrice; Ghyselen, Bruno, Methods for fabricating a substrate.
  8. Simpson Cindy Reidsema ; Herrick Matthew T. ; Etherington Gregory S. ; Legg James Derek, Process for depositing a layer of material over a substrate.
  9. Bruel Michel (Veurey FRX), Process for the production of a relief structure on a semiconductor material support.
  10. Takayama,Toru; Maruyama,Junya; Ohno,Yumiko; Murakami,Masakazu; Hamatani,Toshiji; Kuwabara,Hideaki; Yamazaki,Shunpei, Semiconductor device and manufacturing method thereof.
  11. Locher,John Walter; Zanella,Steven Anthony; MacLean, Jr.,Ralph Lampson; Bates,Herbert Ellsworth, Single crystals and methods for fabricating same.
  12. Malik, Igor J.; Kang, Sien G., Smoothing method for cleaved films made using a release layer.
  13. Droes,Steven R.; Takafuji,Yutaka, System and method for hydrogen exfoliation gettering.
  14. Forbes,Leonard, Ultra-thin semiconductors bonded on glass substrates.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Fournel, Frank; Argoud, Maxime; Da Fonseca, Jeremy; Moriceau, Hubert, Double layer transfer method.
  2. Lichtensteiger, Lukas; Pfeffer, Christian, Production of free-standing solid state layers by thermal processing of substrates with a polymer.
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