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Method for the production of photo-patterned carbon electronics 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0497752 (2009-07-06)
등록번호 US8076218 (2011-11-29)
발명자 / 주소
  • Carothers, Daniel N.
  • Thompson, Rick L.
출원인 / 주소
  • BAE Systems Information and Electronic Systems Integration Inc.
대리인 / 주소
    Vern Maine & Associates
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 18

초록

A method for the manufacture of carbon based electrical components is herein presented. In the method a wafer substrate is provided upon which a first layer of carbon based semiconductor is deposited. The first layer of carbon based semiconductor is introduced to a first doping agent precursor and t

대표청구항

What is claimed is: 1. A method for the production of carbon based electrical components, said method comprising:providing a wafer substrate;depositing upon said wafer substrate a first layer of carbon based semiconductor;introducing said first layer of carbon based semiconductor to a first doping a

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Tsai, Jui Yi; Barone, Michael S.; Tamayo, Arnold; Thompson, Mark E., Carbene containing metal complexes as OLEDs.
  2. Li, Jun; Cassell, Alan M.; Han, Jie, Catalyst patterning for nanowire devices.
  3. Cohen Stephan Alan (Wappingers Falls NY) Edelstein Daniel Charles (New Rochelle NY) Grill Alfred (White Plains NY) Paraszczak Jurij Rostyslav (Pleasantville NY) Patel Vishnubhai Vitthalbhai (Yorktown, Diamond-like carbon for use in VLSI and ULSI interconnect systems.
  4. Veerasamy, Vijayen S., Hydrophilic DLC on substrate with UV exposure.
  5. Veerasamy, Vijayen S., Hydrophilic DLC on substrate with UV exposure.
  6. Veerasamy,Vijayen S., Hydrophilic DLC on substrate with UV exposure.
  7. Kennedy Alvin P. (Midland MI) Bratton Larry D. (Lake Jackson TX) Jezic Zdravko (Lake Jackson TX) Lane Eckel R. (Midland MI) Perettie Donald J. (Midland MI) Richey W. Frank (Lake Jackson TX) Babb Davi, Laminates of polymer shaving perfluorocyclobutane rings.
  8. Kennedy Alvin P. (Midland MI) Bratton Larry D. (Lake Jackson TX) Jezie Zdravko (Lake Jackson TX) Lane Eckel R. (Midland MI) Perettie Donald J. (Midland MI) Richey W. Frank (Lake Jackson TX) Babb Davi, Laminates of polymers having perfluorocyclobutane rings and polymers containing perfluorocyclobutane rings.
  9. Thompson,Mark E.; Tamayo,Arnold; Djurovich,Peter; Sajoto,Tissa, Luminescent compounds with carbene ligands.
  10. Cleeves, James Montague, MOS transistor with self-aligned source and drain, and method for making the same.
  11. Cho,Seon Mee; Srinivasan,Easwar; Lu,Brian G.; Mordo,David, Method and apparatus for UV exposure of low dielectric constant materials for porogen removal and improved mechanical properties.
  12. Nemani, Srinivas D; Xia, Li-Qun; Sugiarto, Dian; Yieh, Ellie; Xu, Ping; Campana-Schmitt, Francimar; Lee, Jia, Method of depositing dielectric films.
  13. Nemani,Srinivas D; Xia,Li Qun; Sugiarto,Dian; Yieh,Ellie; Xu,Ping; Campana Schmitt,Francimar; Lee,Jia, Method of depositing dielectric films.
  14. Nemani,Srinivas D; Xia,Li Qun; Sugiarto,Dian; Yieh,Ellie; Xu,Ping; Campana Schmitt,Francimar; Lee,Jia, Method of depositing dielectric films.
  15. Kuehl, Olaf; Hartmann, Horst; Zeika, Olaf; Pfeiffer, Martin; Youxuan, Zheng, Method of doping organic semiconductors with quinonediimine derivatives.
  16. Stutzmann Martin,DEX ; Nebel Christoph E.,DEX ; Santos Paulo V.,DEX ; Heintze Moritz,DEX, Method of fabricating an electronic micropatterned electrode device.
  17. Carothers, Daniel N; Thompson, Rick, Photo-patterned carbon electronics.
  18. Nakazawa Toru,JPX, Semiconductor apparatus process for production thereof and liquid crystal apparatus.
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