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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0474207 (2009-05-28) |
등록번호 | US-8101054 (2012-01-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 67 인용 특허 : 16 |
A magnetic particle trapper for use in a sputtering system includes a roller cover plate having a plurality of openings arranged and dimensioned to accommodate a plurality of rollers associated with a mechanical transport mechanism of the sputtering system, and a plurality of magnets to trap magneti
1. A magnetic particle trapper for use in a sputtering system, comprising: a roller cover plate having a plurality of openings arranged and dimensioned to accommodate a plurality of rollers associated with a mechanical transport mechanism of the sputtering system; anda plurality of magnets to trap m
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