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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0101653 (2011-05-05) |
등록번호 | US-8114479 (2012-02-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 23 |
This invention relates to a vapor or liquid phase reagent dispensing apparatus having a diptube and also a metal seal aligned and in contact with hardened opposing flat surfaces of a top wall member and a protuberance on a side wall member, wherein the hardened opposing flat surfaces of the top wall
1. A method for delivery of a vapor phase reagent to a deposition chamber comprising: (a) providing a liquid phase reagent dispensing apparatus comprising:a vessel which comprises a removable top wall member, a sidewall member and a bottom wall member configured to form an internal vessel compartmen
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