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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0554052 (2009-09-04) |
등록번호 | US-8129577 (2012-03-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 5 |
A system and a process for providing acetylene, preferably at a high purity level (e.g., comprising 100 parts per million (“ppm”), or 10 ppm, or 1 ppm, or 100 parts per billion (“ppb”), or 10 ppb, or 1 ppb or less of solvent), to a point of use, such as a semiconductor manufacturing process, is desc
1. A process for providing a high purity acetylene comprising 100 ppm or less solvent to a point of use comprising: cooling an acetylene storage vessel comprising acetylene and at least one solvent to a temperature ranging from 0° C. to −35° C.; anddispensing acetylene directly from the storage vess
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