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[미국특허] Method of polishing a tungsten carbide surface 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B24B-001/00
출원번호 US-0224902 (2007-03-09)
등록번호 US-8162723 (2012-04-24)
국제출원번호 PCT/US2007/006117 (2007-03-09)
§371/§102 date 20080909 (20080909)
국제공개번호 WO2007/103578 (2007-09-13)
발명자 / 주소
  • Spiro, Clifford
  • Steuer, George
  • Kaufman, Frank B.
출원인 / 주소
  • Cabot Microelectronics Corporation
대리인 / 주소
    Omholt, Thomas E.
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 16

초록

The invention is directed to a method for polishing a surface comprising tungsten carbide, comprising contacting a surface comprising tungsten carbide with an oxidizing agent, a polishing component, and a liquid carrier, and abrading at least a portion of the surface to polish the surface. The inven

대표청구항

1. A method of chemically-mechanically polishing a surface of a cutting tool insert comprising tungsten carbide comprising: (i) contacting the surface comprising tungsten carbide with a chemical-mechanical polishing system comprising:(a) an oxidizing agent,(b) a polishing component selected from the

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Inspektor Aharon, Boron and nitrogen containing coating and method for making.
  2. Brian L. Mueller ; Shumin Wang, CMP polishing pad including a solid catalyst.
  3. Grab, George P.; Greenfield, Mark S.; Santhanam, Anakkavur T., Chromium-containing cemented carbide body having a surface zone of binder enrichment.
  4. Grab, George P.; Greenfield, Mark S.; Santhanam, Anakkavur T., Chromium-containing cemented carbide body having a surface zone of binder enrichment.
  5. Moriguchi Hideki,JPX ; Murakami Daisuke,JPX ; Ikegaya Akihiko,JPX ; Nomura Toshio,JPX, Coated hard alloy tool.
  6. Fujii Hiroshi (Aichi JPX) Hara Akio (Itami JPX) Kobayashi Mitsunori (Itami JPX) Mori Yoshikatsu (Itami JPX), Coated hard metal tool.
  7. Grumbine Steven K. ; Streinz Christopher C. ; Mueller Brian L., Composition and slurry useful for metal CMP.
  8. Jonsson,Anders, Cutting tool insert.
  9. Phillips Frank H., Finishing of tungsten carbide surfaces.
  10. Phillips Frank H., Finishing of tungsten carbide surfaces.
  11. Duescher Wayne O., Lapping apparatus and lapping method using abrasive sheets.
  12. Gerber Heinz Joseph ; Wood Kenneth O. ; Murray Jeffrey J. ; Logan David J., Optical lens or lap blank surfacing machine, related method and cutting tool for use therewith.
  13. Terry R. Matthias GB; Nigel Dennis Griffin GB; Peter Raymond Hughes GB, Rotary drill bit design method.
  14. Inspektor Aharon, Substrate with a superhard coating containing boron and nitrogen and method of making the same.
  15. Siddiqui,Junaid Ahmed, Surface modified colloidal abrasives, including stable bimetallic surface coated silica sols for chemical mechanical planarization.
  16. Sakai Kiyoshi (Chofu JPX) Sakakibara Teigo (both of ; Tokyo JPX) Sakou Harumi (both of ; Tokyo JPX) Amamiya Shoji (Sagamihara JPX), Surface roughening method for organic electrophotographic photosensitive member.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Lugg, Paul S; Lehuu, Duy K, Multi-layered polishing pads.
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