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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0706002 (2010-02-16) |
등록번호 | US-8216739 (2012-07-10) |
우선권정보 | FR-05 52943 (2005-09-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 3 |
A support wafer made of silicon wafer comprising, on a first surface a porous silicon layer having protrusions, porous silicon pillars extending from the porous silicon layer to the second surface of the wafer, in front of each protrusion. Layers constituting a fuel cell can be formed on the support
1. A method for forming a support wafer from a non-porous silicon wafer, comprising the steps of: forming, according to a TGZM method, aluminum-silicon pillars crossing the non-porous silicon wafer;forming cavities in a first surface of the non-porous silicon wafer outside of the areas corresponding
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