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Deposition chamber liner 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • 23-04
출원번호 US-0411698 (2012-01-25)
등록번호 US-D665071 (2012-08-07)
발명자 / 주소
  • Goel, Ashish
  • Subramani, Anantha K.
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson & Sheridan, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 13

초록

초록이 없습니다.

대표청구항

The ornamental design for a deposition chamber liner, as shown and described.

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Thurman William E., Duct.
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  2. William E. Thurman, Duct.
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  3. Liebson, Steven Allan; Cohen, Robert; Liebson, Graeme Anthony, Duct adaptor ring.
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  4. Thurman, William E., Duct link.
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  5. Farley Mark H. (Roswell GA) Gabryszewski Gregory J. (Lithonia GA) Keough James W. (Decatur GA) Petrecca Peter J. (Dunwoody GA), Heated platen for liquifying thermoplastic materials.
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  6. Doba, Shigeki, Inner wall shield for a process chamber for manufacturing semiconductors.
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  7. Drewery, John Stephen; Reynolds, Glyn; Russell, Derrek Andrew; Brcka, Jozef; Vukovic, Mirko; Grapperhaus, Michael James; Cerio, Jr., Frank Michael; Gittleman, Bruce David, Method and apparatus for ionized physical vapor deposition.
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  8. Gopalraja, Praburam; Stimson, Bradley O., Partial turn coil for generating a plasma.
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  9. Concannon,John Francis, Pipe connector.
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  10. Ikeda, Kuniyasu; Tamaki, Masao, Rim for a motorcycle.
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  11. Hixson, Robert B.; Groshong, Gary William; Jordan, David Bruce; Gonzalez, Jose Luis, Shield assembly for substrate processing chamber.
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  12. Lawson, John; Irwin, Dale; Chervenak, Steve, Single piece pod shield for vertical plenum wafer processing machine.
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  13. Hale ; Jr. Arthur D., Wheel rim.
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이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Hassan, Khalid; Redding, Glenn K., Adapter sleeve for an arc welding apparatus.
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  2. Sauer, James, Biochar kiln.
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  3. Sallander, Martin, Blowtorch.
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  4. Nudo, P. J., Coupling.
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  5. Goel, Ashish; Subramani, Anantha, Edge ring for a deposition chamber.
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  6. Sickinger, Jonathan; Cagle, John E., Heater dish and wax cup for electric wax melting system.
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  7. Kawamura, Khotaro; Kashiwagi, Makoto; Ikeda, Hiroshi, Inner cylinder for exhaust gas treatment apparatus.
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  8. Harman, Rodney James, Termination collar for air duct.
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  9. Scott, Timothy; Hall, William Jason; Welk, Gregory; Cline, Scott; Rothwell, Timothy, Water heater top cap assembly.
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  10. Wang, Lixin, Wax cup assembly.
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