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Blackbody fitting for temperature determination 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01K-015/00
  • G01J-005/00
출원번호 US-0730432 (2010-03-24)
등록번호 US-8282273 (2012-10-09)
발명자 / 주소
  • Barlett, Darryl
  • Wissman, Barry D.
  • Taylor, II, Charles A.
출원인 / 주소
  • k-Space Associates, Inc.
대리인 / 주소
    Endurance Law Group PLC
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 20

초록

A temperature monitoring technique for collecting radiation intensity (blackbody emission) across a broad wavelength range. A solid state spectrometer (26) acquires spectra from a sample (10) in real time and resolves the spectra to a radiation intensity (I) versus wavelength (λ) curve. This curve i

대표청구항

1. A method for calibrating a spaced non-contact temperature measurement device by observing thermally-emitted radiation from a sample, said method comprising the steps of: A. providing a spectrometer;B. providing a sample to be measured;C. heating the sample to an unknown self-calibration temperatu

이 특허에 인용된 특허 (20)

  1. Kadthala R. Narendrnath ; Liang-Guo Wang ; Shamouil Shamouilian ; Paul E. Luscher ; Hamid Noorbakhsh, Apparatus for measuring pedestal and substrate temperature in a semiconductor wafer processing system.
  2. Khan Mansoor A. (Grafton MA) Allemand Charly (Newtonville MA) Eagar Thomas W. (Belmont MA), Emissivity independent multiwavelength pyrometer.
  3. Bibby Geoffrey W. (Leatherhead GBX), Light scattering temperature measurement.
  4. Yam Mark, Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources.
  5. Rosengaus Eliezer (3704 Ortega Ct. Palo Alto CA 94303), Method and apparatus for remotely measuring the temperature of a surface.
  6. Kirillov Dimitry M. (Redwood City CA) Powell Ronald A. (Redwood City CA), Method and apparatus for temperature measurements.
  7. Tank Volker (Eching DEX), Method and system for optically measuring simultaneously the emissivity and temperature of objects.
  8. Johnson Shane R. ; Tiedje J. Thomas,CAXITX V6T 1W1, Method for determining the temperature of semiconductor substrates from bandgap spectra.
  9. Tank Volker (Eching a.A. DEX), Method of and device for contactless temperature measurement of an object independently of radiation emissivity.
  10. Miteva, Tzenka; Nelles, Gabriele; Yasuda, Akio; Balouchev, Stanislav; Lupton, John, Method of determining the temperature in a system.
  11. Cabib Dario,ILX ; Buckwald Robert A.,ILX ; Adel Michael E.,ILX, Multipoint temperature monitoring apparatus for semiconductor wafers during processing.
  12. Flik Markus I. (Boston MA) Anderson Alfredo (Watertown MA) Choi Byungin (Cambridge MA), Non-contact temperature measurement of a film growing on a substrate.
  13. Johnson Shane R. (2626 Tennis Crescent Vancouver ; B. C. CAX) Lavoie Christian (2626 Tennis Crescent Vancouver ; B. C. CAX V6T 2E1) Nissen Mark K. (215 - 2190 West 7th Avenue Vancouver ; B. C. CAX V6, Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap.
  14. Johnson Shane R. (2626 Tennis Crescent Vancouver ; B.C. CAX) Lavoie Christian (2626 Tennis Crescent Vancouver ; B.C. CAX V6T 2E1 ) Nissen Mark K. (215-2190 West 7th Avenue Vancouver ; B.C. CAX V6K 4K, Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap.
  15. Burns David H,CAX ; Series Frederic,CAX, Substrate temperature measurement by infrared spectroscopy.
  16. Felice Ralph A., Temperature determining device and process.
  17. Ralph A. Felice, Temperature determining device and process.
  18. Allen John B. (Richardson TX), Temperature measuring method using infrared sensors and processor.
  19. Duncan Walter M. (Dallas TX) Celii Francis G. (Dallas TX) Henck Steven A. (Plano TX) Paranjpe Ajit P. (Plano TX) Mahlum Douglas L. (Allen TX) Taylor Larry A. (N. Richland Hills TX), Temperature sensor and method.
  20. McIntosh, Devon R., Two-stage multiwavelength thermal radiation analyzer.
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