[특허]Remote plasma synthesis of metal oxide nanoparticles

[미국특허] Remote plasma synthesis of metal oxide nanoparticles 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C01G-023/047
출원번호	US-0971414 (2010-12-17)
등록번호	US-8282906 (2012-10-09)
발명자 / 주소	Katare, Rajesh K. David, Moses M.
출원인 / 주소	3M Innovative Properties Company
대리인 / 주소	Crooks, Stephen L.
인용정보	피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 16

초록 ▼

A method of synthesizing nanoparticles, comprising providing a precursor comprising a titanium alkoxide compound; forming a plasma from oxygen gas at a first location, wherein the plasma comprises plasma products that contain oxygen atoms; causing the plasma products to flow to a second location remote from the first location; contacting the precursor with the plasma products at the second location so as to oxidize the precursor and form nanoparticles; and collecting the nanoparticles with a collector.

대표청구항 ▼

1. A method for synthesizing nanoparticles, which method comprises: forming a plasma from oxygen gas at a first location, wherein the plasma comprises plasma products that contain oxygen atoms;causing the plasma products to flow to a second location;contacting a precursor comprising a titanium alkoxide compound with the plasma products at the second location so as to oxidize the precursor and form nanoparticles; andcollecting the nanoparticles;wherein the second location is a reaction chamber; wherein the reaction chamber and the first location are joined by a conduit having a length of 2 to 300 centimeters; andwherein the plasma products travel from the first location, through the conduit, prior to contacting the precursor in the reaction chamber. 2. The method of claim 1, wherein the nanoparticles comprise titanium dioxide. 3. The method of claim 1, wherein the precursor comprises titanium tetraisopropoxide. 4. The method of claim 1, wherein at least 50 percent by volume of the nanoparticles have a particle size in the range of 2 to 100 nanometers. 5. The method of claim 1, wherein at least 90 percent by volume of the nanoparticles have a particle size in the range of 8 to 12 nanometers. 6. The method of claim 1, wherein at least 98 percent by volume of the nanoparticles have a particle size in the range of 8 to 12 nanometers.

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